陶瓷材料是人類(lèi)生活和生產(chǎn)中不可缺少的一種材料，陶瓷材料是天然或合成化合物經(jīng)過(guò)成型和高溫燒結制成的一類(lèi)無(wú)機非金屬材料，具有高熔點(diǎn)、高硬度、高耐磨性、耐氧化等優(yōu)點(diǎn)，可用作結構材料、功能材料。
氮化鋁陶瓷（AlN）
隨著(zhù)新能源行業(yè)的發(fā)展，半導體器件在風(fēng)力發(fā)電、電動(dòng)汽車(chē)等新能源行業(yè)的應用中占據日益重要的地位。半導體器件的功率和頻率更高，集成規模也越來(lái)越大。與傳統的樹(shù)脂基片材料相比，氮化鋁（AlN）陶瓷材料具有較大溫度范圍內使用無(wú)異常、導熱系數高、硬度大、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)，是優(yōu)質(zhì)半導體器件的最佳材料。AlN陶瓷材料可應用到封裝體中以擴散熱量，降低器件的工作溫度，提高封裝體的使用性能和穩定性。AlN是一種具有六方纖鋅礦結構的III-V族強共價(jià)化合物，其結構單位為[AlN4]四面體，即晶包中每個(gè)Al原子被4個(gè)N原子包圍，其晶體結構如圖所示。
圖1：AlN晶體結構
AlN熔點(diǎn)高，原子自擴散系數小，因此，純凈的AlN粉末在通常的燒結溫度下很難燒結致密，而致密度不高的材料很難具有高的熱導率。因此，要制備高熱導率的AlN陶瓷，在燒結工藝中，需要解決兩個(gè)問(wèn)題：一是提高材料致密度，二是盡量避免氧原子熔入AlN晶格中。最常見(jiàn)的AlN粉體燒結方式是無(wú)壓燒結。它是指正常壓力下，具有一定形狀的陶瓷素坯在高溫下經(jīng)過(guò)物理化學(xué)變化過(guò)程變?yōu)橹旅?、堅硬、體積穩定的、具有一定性能的燒結體過(guò)程。因此，陶瓷材料的燒結工藝直接影響陶瓷產(chǎn)品的顯微結構，如晶粒尺寸與分布、氣孔率等參數進(jìn)而影響陶瓷產(chǎn)品的使用性能。
隨著(zhù)納米材料的興起，其較強的小尺寸效應、表面效應使得晶粒的表面能增加，燒結活性增強，從而可以顯著(zhù)提高燒結速度，使微觀(guān)結構均勻一致，極大改善材料的性能。比如摻入微量的Y2O3，在燒結過(guò)程中，可以有效地降低納米粉體的晶粒尺寸，并能改善粉末的分散度，降低燒結溫度，提高燒結速度，還可實(shí)現材料的近全致密化。
圖3：燒結成型的AlN陶瓷微觀(guān)結構（其中白色顆粒為燒結助劑Y2O3）
圖3為添加燒結助劑Y2O3燒結后的AlN陶瓷瓷片，晶粒堆積緊密，致密度較高，但晶粒的尺寸分布不均，Y2O3顆粒充分填充于A(yíng)lN晶粒之間，提高了陶瓷的致密度，從而進(jìn)一步改善其熱導性能。
鈦酸鍶陶瓷（SrTiO3）
鈦酸鍶（SrTiO3）陶瓷介電損耗小，熱穩定性好，是一種優(yōu)良的電子陶瓷材料，廣泛應用與高壓電容器、晶界層電容器、壓敏電阻、熱敏電阻等電子元件，具有高性能、高可靠性、體積小等優(yōu)點(diǎn)。SrTiO3電子陶瓷一般是以固相法合成，經(jīng)燒結成型后所得，因此燒結工藝參數對陶瓷的顯微結構具有顯著(zhù)影響，如燒結溫度對晶粒尺寸、相組成、氣孔的形貌和數量等，進(jìn)一步影響材料的介電性能。過(guò)高的溫度使陶瓷晶粒過(guò)大、致密性差，還會(huì )促進(jìn)二次結晶，材料的強度等性能降低，溫度較低則導致晶粒發(fā)育不完全。
圖4中的SrTiO3陶瓷晶粒取向通過(guò)掃描電鏡的背散射探測器清晰呈現出來(lái)，晶粒之間沒(méi)有較大的氣孔存在，并且表面生長(cháng)的臺階清晰可見(jiàn)。
氧化鋁陶瓷 （Al2O3）
圖5：隔膜的Al2O3陶瓷涂覆層微觀(guān)結構以及截面結構
實(shí)驗設備：
賽默飛超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Apreo 2
參考文獻：
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