1、方式不同
掃描電鏡和電視掃描原理相同的成像方式,透射電鏡和光學(xué)顯微鏡或者照相機成像原理相同的成像方式。
2、實(shí)現不同
掃描電鏡利用掃描透射電子顯微鏡可以觀(guān)察較厚的試樣和低襯度的試樣。透射電鏡利用掃描透射模式時(shí)物鏡的強激勵,可以實(shí)現微區衍射。
透射電子顯微鏡是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。
由于電子的德布羅意波長(cháng)非常短,透射電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多,可以達到0.1~0.2nm,放大倍數為幾萬(wàn)~百萬(wàn)倍。
因此,使用透射電子顯微鏡可以用于觀(guān)察樣品的精細結構,甚至可以用于觀(guān)察僅僅一列原子的結構,比光學(xué)顯微鏡所能夠觀(guān)察到的最小的結構小數萬(wàn)倍。TEM在中和物理學(xué)和生物學(xué)相關(guān)的許多科學(xué)領(lǐng)域都是重要的分析方法,如癌癥研究、病毒學(xué)、材料科學(xué)、以及納米技術(shù)、半導體研究等等。
在放大倍數較低的時(shí)候,TEM成像的對比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成對電子的吸收不同而造成的。
而當放大率倍數較高的時(shí)候,復雜的波動(dòng)作用會(huì )造成成像的亮度的不同,因此需要專(zhuān)業(yè)知識來(lái)對所得到的像進(jìn)行分析。通過(guò)使用TEM不同的模式,可以通過(guò)物質(zhì)的化學(xué)特性、晶體方向、電子結構、樣品造成的電子相移以及通常的對電子吸收對樣品成像。