環(huán)境掃描電子顯微鏡工作原理：電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含關(guān)于樣品的表面測繪學(xué)形貌和組成的信息的各種信號。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信號組合以產(chǎn)生圖像。掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束，在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)磁透鏡系統匯聚，形成電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線(xiàn)圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子。這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉換為光子，再經(jīng)過(guò)電信號放大器加以放大處理，成像在顯示系統上。
環(huán)境掃描電子顯微鏡的儀器特點(diǎn)：
?、倌軌蛑苯佑^(guān)察樣品表面的結構。
?、跇悠分苽溥^(guò)程簡(jiǎn)單，不用切成薄片。
?、蹣悠房梢栽跇悠肥抑凶魅瓤臻g的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀(guān)察。
?、芫吧畲?，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
?、輬D象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f(wàn)倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間。
?、揠娮邮鴮悠返膿p傷與污染程度較小。
?、咴谟^(guān)察形貌的同時(shí)，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區成分分析。
環(huán)境掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像系統。
1.真空系統：主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空。
2.電子束系統：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以?huà)呙璩上瘛?br />
3.成像系統：電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生次級電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號。
