透射電鏡結構主要分為電子光學(xué)、真空系統和供電控制系統三個(gè)部分。
一、透射電鏡電子光學(xué)部分:整個(gè)電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內,自上而下順序排列著(zhù)電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀(guān)察室、熒光屏、照相機構等裝置。根據這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統、樣品室、成像系統及圖像觀(guān)察和記錄系統。
1.照明系統:照明系統由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中及傾斜調節裝置組成。它的作用是為成像系統提供一束亮度高、相干性好的照明光源。電子槍由陰極、柵極和陽(yáng)極構成。在真空中通電加熱后使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動(dòng)能形成定向高速電子流。聚光鏡的作用是會(huì )聚從電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束,控制照明孔徑角、電流密度和光斑尺寸。
2.樣品室:樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。
3.成像系統:成像系統一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨本領(lǐng),中間鏡和投影鏡的作用是將來(lái)自物鏡的圖像進(jìn)一步放大。
4.圖像觀(guān)察與記錄系統:該系統由熒光屏、照相機、數據顯示等組成。
二、透射電鏡真空系統:真空系統由機械泵、油擴散泵、換向閥門(mén)、真空測量?jì)x奉及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內氣體,使鏡筒真空度至少要在托以上。如果真空度低的話(huà),電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度,還會(huì )使電子柵極與陽(yáng)極間高壓電離產(chǎn)生極間放電,殘余的氣體還會(huì )腐蝕燈絲,污染樣品。
三、供電控制系統:加速電壓和透鏡磁電流不穩定將會(huì )產(chǎn)生嚴重的色差及降低電鏡的分辨本領(lǐng),所以加速電壓和透鏡電流的穩定度是衡量電鏡性能好壞的一個(gè)重要標準。