掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應用于半導體、無(wú)機非金屬材料及器件等的檢測。隨著(zhù)我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進(jìn)了
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。掃描電鏡樣品必須是具有一定化學(xué)、物理穩定性的干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末。在真空中及電子束轟擊下不會(huì )揮發(fā)或變形，無(wú)磁性、放射性和腐蝕性。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的成像原理：來(lái)自?huà)呙璋l(fā)生器的掃描信號分別送給電子光學(xué)系統的掃描線(xiàn)圈和顯像管的掃描線(xiàn)圈，讓電子束于顯像管的陰極射束做同步掃描，是陰極射束在熒光屏上的照射點(diǎn)(稱(chēng)為像點(diǎn))與電子束在樣品上的照射點(diǎn)(稱(chēng)為物點(diǎn))按時(shí)間順序一一對應，樣品上的物點(diǎn)在電子束作用下所產(chǎn)生的信號被檢測器隨時(shí)檢出，經(jīng)視頻放大器放大后控制顯像管陰極射束的強度使熒光屏上像點(diǎn)的亮度受試樣上物點(diǎn)所產(chǎn)生的信號的大小的調制，從而得到與樣品性質(zhì)有關(guān)的圖像。這是一種按時(shí)間順序逐點(diǎn)成像的方式。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的基本構造：
1.電子槍?zhuān)卜Q(chēng)電子源，產(chǎn)生連續不斷的穩定的電子流。場(chǎng)發(fā)射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同，陰極呈桿狀，在它的一端有個(gè)極鋒利的尖點(diǎn)，尖點(diǎn)端的電場(chǎng)*，電子直接依靠“隧道”穿過(guò)勢壘離開(kāi)陰極，由加速電壓加速產(chǎn)生高速電子流飛向樣品。
2.電子透鏡：將從電子槍發(fā)射出來(lái)的電子匯聚成直徑最小電子束。
3.掃描系統：使電子束作光柵掃描運動(dòng)。
